近日，接國家自然科學(xué)基金委員會(huì)通知，學(xué)校機(jī)械工程系王生懷博士申報(bào)的 2010年度國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目“微納表面結(jié)構(gòu)的區(qū)域測(cè)量與表征方法研 究 ” （專 項(xiàng) 基 金 項(xiàng) 目 批 準(zhǔn) 號(hào) ：51006132），經(jīng)過專家評(píng)審和基金委審批，獲準(zhǔn)立項(xiàng)。這是我校繼去年成功申報(bào)3項(xiàng)國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目后取得的又一成績。該項(xiàng)目提出了微納表面結(jié)構(gòu)的區(qū)域測(cè)量與表征的新方法，適用于微傳感器、微機(jī)電系統(tǒng) （MEMS）、納米電機(jī)系統(tǒng) （NEMS）、光學(xué)器件等的結(jié)構(gòu)表面的測(cè)量和表征，在精密及超精密加工和半導(dǎo)體光刻等領(lǐng)域中，具有廣泛的應(yīng)用前景。（科技處）